光束分束器
光束分束器(点阵分束器)是最基本的衍射光学元件之一,它的作用是把单个入射光分几束或多束,且每束光都具有原始光束的特性(除了其功率和传播角度变化,不改变初始光束的直径、发散角和波前分布)。
分束器的输出可以是一维排布,也可以是二维排布,也可以实现线光斑阵列,排布完全可以由用户定制,这些通过设计分束器表面的衍射图案来实现的。同时,输出光束的数量、光束间的夹角、直线的长度和数量都可以任意定制。光束的个数更是不受限制,可以为2束、3束,也可以为几百甚至上万束。
我们提供大量的分束器标准品供客户选择,包括一维光束阵列(1×N)或二维光束的矩阵(M×N)。仅1064nm一个波长就有约100种标准型号,其中一维激光分束器的规格包括但不限于一分二、一分四、一分六、一分一百,二维光束分束器的规格包括2×2, 3×3, 7×7,100×100, 128×64等等, 可达百万束。
激光分束器可应用于许多领域。在激光打标和划片领域,光束的数量的多少直接决定激光加工效率,例如两束激光的加工效率就比单束激光提高一倍。这两束激光可以是紧密相邻的或者有一定夹角的,两束光的光斑距离可以为1~2mm,也可以为几十甚至大于100mm,完全由用户根据激光加工的实际要求来确定。国外的公司已经有类似成熟的方案,具有非常好的稳定性和加工效率。
特点
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对入射激光无要求,可以单模或多模激光。
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分束器材质为一般玻璃,石英
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高功率阈值,准确的角度分离,分束后能量和波前一致性好,光束之间的能量差异<1%
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对X-Y-Z位移不敏感,自定义分离角度和形状,安装方便,对准直和中心轴位置不敏感
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覆盖紫外到红外的所有激光波段,193nm to 10.6um,可选Ar / Ar膜层
典型应用
激光分束器的定制
安装使用
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激光分束器可以独立使用,也可以配合聚焦镜使用(聚焦镜放置在分束元件之后)。通常,客户都会配合聚焦透镜进行试用,因此装配之前客户需要先确定焦距,因为光束之间的夹角是固定不变的,这样就可以计算各光束之间的距离。
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由于衍射光学原理的限制,双光束分束元件的效率一般可达到80%,对于多光束(至少为3)的分束元件,利用二元多阶结构,效率可以从85%到95%,且其多余的能量以杂散光的形式损耗。为了得到更好的分束效果,需要客户提供初始的光斑大小,光斑大小需要至少为刻蚀周期大小的3-5倍,5倍以上效果 。